主营业务:半导体设备、光伏设备、其他新兴应用
产品名称:iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomicLite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomicPE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父(KF)系列批量式ALD系统、祝融(ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和(XH)系列高温低压系统、祝融(ZR)管式PECVD系统、祝融(ZR)管式PEALD/PECVD集成系统、羲和(XH)高温低压系统、后羿(HY)系列板式ALD系
公司简介:2015年12月25日,公司前身江苏微导纳米装备科技有限公司成立。 2019年12月10日,公司名称由“江苏微导纳米装备科技有限公司”更名为“江苏微导纳米科技股份有限公司”。
